In vielen Bildverarbeitungssystemen, wie sie beispielsweise bei der Halbleiterinspektion verwendet werden, müssen präzise wiederholbare Messungen konsistent durchgeführt werden. Um dies sicherzustellen, müssen sich Systementwickler teureren optischen Systemen zuwenden, die auf telezentrischen Objektiven basieren, um diese Teile abzubilden.
Viele der Gründe für die Wahl telezentrischer Objektive ergeben sich aus den Einschränkungen konventionellerer Objektivsysteme. Sollte sich beispielsweise ein Objekt auch nur geringfügig innerhalb der Schärfentiefe eines herkömmlichen Linsensystems bewegen, wird es eine damit verbundene Vergrößerungsänderung geben. In der Vergangenheit wurden Vergrößerungsänderungen aufgrund von Objektverschiebungen mittels einer zusätzlichen Kamera oder eines Tiefensensors kalibriert, der den Abstand zwischen dem Objektiv und dem Objekt verfolgte. Die Verwendung eines telezentrischen Objektivs kann solche Vergrößerungsänderungen wesentlich verringern oder sogar eliminieren und daher die Notwendigkeit einer zusätzlichen Kamera und einer Vorverarbeitung der Bilddaten beseitigen, die andernfalls erforderlich sein könnten, um Vergrößerungsfehler zu korrigieren.
Auch Perspektiv- oder Parallaxenfehler lassen sich durch den Einsatz von telezentrischen Objektiven eliminieren. In herkömmlichen optischen Systemen erscheinen nähere Objekte relativ größer als weiter entfernte, da sich die Vergrößerung eines Objekts mit seinem Abstand von der Linse ändert. Telezentrische Objektive korrigieren diesen Parallaxenfehler jedoch optisch, sodass Objekte unabhängig von einem bestimmten Abstand vom Objektiv die gleiche wahrgenommene Größe behalten.
Das telezentrische Objektiv kann die oben genannten Probleme in einem bestimmten Arbeitsabstand effektiv lösen. Das telezentrische Objektiv hat die gleiche Vergrößerung, die sich nach der Fokussierung nicht mit DoF ändert. Das telezentrische Objektiv kann eine hervorragende Bildqualität mit geringer Verzerrung und ohne Parallaxe liefern, sodass es für hochpräzise Messungen und die Erkennung von Werkstückfehlern verwendet werden kann.
Standardprodukte
Maganification | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.14 | 0.22 | 0.22 | 0.5 | 0.55 | 0.345 | 0.367 |
Working Distance | 180+/-2 | 180+/-2 | 180+/-2 | 220+/-2 | 180+/-2 | 200+/-2 | 200+/-2 | 220+/-2 | 220+/-2 | 220+/-2 | 220+/-2 |
CCD Size | 9.0(1/1.8") | 11.0(2/3") | 11.0(2/3") | 11.0(2/3") | 7.2(1/2.5") | 9.0(1/1.8") | 11.0(2/3") | 16.0(1") | 16.0(1") | 16.0(1") | 16.0(1") |
F/# | 8 | 10 | 10 | 13.6 | 8 | 8 | 10 | 8 | 8 | 8 | 8 |
N.A. | 0.0188 | 0.015 | 0.015 | 0.011 | 0.0088 | 0.014 | 0.011 | 0.031 | 0.034 | 0.22 | 0.23 |
MTF | ≥100 | ≥83 | ≥83 | ≥63 | ≥100 | ≥95 | ≥80 | ≥110 | ≥110 | ≥115 | ≥115 |
DoF(mm) | +/-7@F16 | +/-7@F16 | +/-7@F16 | +/-9.7@F22 | +/-32.5@F16 | +/-13@F16 | +/-13@F16 | +/-2.5@F16 | +/-2.1@F16 | +/-5.3@F16 | +/-4.7@F16 |
Distortion | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 |
Telecentricity | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 |
Interface | C-Mount | ||||||||||
Total Length | 166.2 | 166.3 | 166.2 | 167.7 | 132.8 | 150 | 150 | 205.7 | 215.4 | 214.9 | 214.9 |
Telezentrische Objektive, die hauptsächlich zur Korrektur der Aberration herkömmlicher Industrieobjektive entwickelt wurden, können die Vergrößerungsrate des erhaltenen Bildes innerhalb einer bestimmten Objektentfernung unverändert lassen, was eine sehr wichtige Anwendung für Situationen darstellt, in denen sich die gemessenen Objekte nicht auf derselben Oberfläche befinden. Das telezentrische Objektiv wurde schon immer von Bildverarbeitungsanwendungen bevorzugt, die aufgrund ihres einzigartigen Designs des parallelen optischen Pfads hohe Anforderungen an die Linsenverzerrung stellen.
Telezentrische Objektive haben ihre eigenen unverwechselbaren optischen Eigenschaften: hohe Auflösung, große Sichttiefe, extrem geringe Verzerrung und ihr besonderes Design des parallelen Lichts.
Die telezentrischen Objektive können einige Probleme gewöhnlicher Objektive effektiv lösen, sodass sie in hochpräzisen Messungen usw. verwendet werden können. Das telezentrische Objektiv ist ein High-End-Industrieobjektiv, normalerweise mit einer relativ hervorragenden Bildqualität, das sich besonders für die Anwendung eignet der Dimensionsmessung.
Egal wo Sie sich befinden, Sie haben die gleiche Vergrößerung, wenn Sie auf eine bestimmte Entfernung neu fokussieren. Das telezentrische Objektiv kann eine überragende Bildqualität bieten, und die Verzerrung ist geringer als bei herkömmlichen Objektiven mit fester Brennweite. Dieses optische Design macht die Bildoberfläche symmetrischer, was für die Präzisionsmessung der Software verwendet werden kann.
Die telezentrischen Objektive werden hauptsächlich für Präzisionsmessungen verwendet. In dem optischen Präzisionsmesssystem, weil das Vorhandensein einiger einschränkender Faktoren in der gewöhnlichen optischen Linse, wie der Fehler, der durch die Verzerrung des Bildes verursacht wird, der Fehler, der durch die falsche Auswahl der Perspektive verursacht wird, die Unsicherheit der Grenze verursacht durch unsachgemäße Lichtinterferenz usw. und die Messgenauigkeit wird beeinträchtigt. Und telezentrische Objektive können die oben genannten Probleme effektiv verringern oder beseitigen, daher ist das telezentrische Objektiv zum entscheidenden Bestandteil des optischen Präzisionsmesssystems geworden, und seine Anwendungsgebiete werden immer umfangreicher.