Was ist ein Mikrolinsenarray?

Gegenwärtig sind Menschen in der Lage, Linsen und Linsenarrays mit sehr kleinen Durchmessern herzustellen. Solche Linsen und Linsenarrays werden vom menschlichen Auge üblicherweise nicht erkannt. Sie können nur mit Mikroskopen, Rasterelektronenmikroskopen, Rasterkraftmikroskopen und anderen Geräten beobachtet werden. 

1. Was ist ein Mikrolinsenarray?

Das Mikrolinsenarray ist ein Array aus Linsen mit einer klaren Apertur und einer Relieftiefe von Mikrometern. Es hat nicht nur die Grundfunktionen traditioneller Objektive wie Fokussierung und Abbildung, sondern auch die Eigenschaften einer kleinen Einheitsgröße und einer hohen Integration, wodurch es in der Lage ist, die Funktionen zu vervollständigen, die herkömmliche optische Komponenten nicht erfüllen können, und viele neue bilden kann optische Systeme.

2. Herstellungsverfahren für Mikrolinsen-Arrays

Derzeit gibt es zwei Hauptansätze in der wissenschaftlichen Forschung, um die Größe von Mikrolinsen und Mikrolinsenarrays. Der erste Ansatz ist das binäre optische Verfahren, das hauptsächlich die Verwendung von Fotolithografie, Laserdirektschreiben, Graustufenmaske, Ionenstrahlätzen und anderen Technologien erforscht, um diffraktive Mikrolinsen und diffraktive Mikrolinsenarrays herzustellen. Die durch dieses Verfahren hergestellten optischen Elemente haben die Oberflächenphasenreliefstruktur, die Oberflächenform ist diskontinuierlich, diese Art von Mikrolinsen und Mikrolinsenarrays wird als diffraktive Mikrolinsen und Linsenarrays bezeichnet.

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Der zweite Weg besteht darin, die Größe der Mikrolinsen zu minimieren, während die Oberfläche der Linse glatt und kontinuierlich gehalten wird, und sie anzuordnen. Die hauptsächlich verwendeten Methoden sind die Kolloidpartikel-Selbstorganisationsmethode, die Ionenaustauschmethode, die Thermoformmethode für lichtempfindliches Glas, die Fotoresist-Heißschmelzmethode, die Ätzmethode mit photoelektrischer Reaktion, die Ätz- und Abscheidungsmethode mit fokussiertem Ionenstrahl, die chemische Bewitterungsabscheidungsmethode und andere Methoden, die Mikrolinse und Mikrolinsenarrays, die durch dieses Verfahren hergestellt werden, werden Mikrolinsen vom refraktiven Typ und Mikrolinsenarrays genannt.